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描述:上海福赛智能设备有限公司的技术人员正在检查晶圆反向晶圆生产机
在显著提高晶片产量的同时，生产效率也稳步提高。上海福赛智能设备有限公司自主研发的第一台led半导体晶圆复卷机于今年量产，长三角g60科技创新走廊的研发成果填补了行业的空空白。
9月4日下午，记者走进上海福赛智能设备有限公司的生产车间，看到几十个led半导体晶片脚蹼排成一排。技术人员正在对将于月底交付给客户的设备进行最后调试。这批设备有一个独立的清洁空室，“实现无人操作，这可以最大限度地提高产品质量和产量，并确保产品信息可以追溯。”公司智能设备事业部副总经理刘春军表示，该设备已交付给国内led晶圆制造行业的龙头企业——三安集团，该集团对产品质量要求很高。
刘春军告诉记者，该设备用于led半导体外延工艺，可以实现晶圆从原料仓库到pvd工艺，从pvd工艺到mocvd工艺的周转。在福赛特引进这种设备之前，这种周转主要是通过手工操作完成的。人工操作造成的污染会对产品质量产生很大影响，因为人为失误造成的产品或车辆的损坏和浪费是不小的。此外，人工操作和周转中断了设备的信息流和数据流，不利于产品信息的跟踪和回溯。福赛特公司推出的led半导体晶片复卷机解决了这个行业的痛点。据介绍，该设备采用了行业领先的清洁机器人、先进的激光传感器和ccd，以及自主研发的载体寻边器等。，并配合自主开发的成熟、先进的信息系统，可以自动实现与企业生产的“中枢神经系统”mes系统的数据交互，形成“外周神经系统”，并连接各个过程阶段的独立设备系统，即“神经末梢”，形成闭环智能信息系统。同时，可以实现晶圆自动装卸、晶圆找边、晶圆自动读取和校对、生产工单退批和平行批等功能。
“在集成电路半导体行业中，大部分的晶圆触发器设备都嵌入在核心设备中，并被几家大型外国公司垄断。设备价格高，生产效率低，无法满足led半导体行业的批量需求。因此，led半导体行业从来没有合适的晶片触发器解决方案。通过对发光二极管整个过程的分析，我们从发光二极管外延部分开始。目前，第一台设备led半导体晶圆翻转机已经批量生产，第二台产品pss工艺区pss自动翻转机已经研制成功。目前，我们正在与国内led主要设备领先企业进行谈判，并计划合作研发嵌入式晶圆翻转模块，以支持新一代国内mocvd和pvd设备的开发。”上海福赛智能设备有限公司总经理张丹说。
“led半导体晶圆鳍片所包含的机电设计、控制软件和智能算法等十余项知识产权均由我公司自主开发。该设备的成功开发，在中国半导体行业高端设备领域实现了重大突破，打破了外国巨头的长期垄断，填补了行业空空白。”张丹说道。
