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近日,致力于“超越摩尔”产业发展的创新平台——上海微技术产业研究院(以下简称“ITRI”)运营的8英寸“超越摩尔”R&D试点线首个传感器产品通过验证,正式宣告了R&D试点线的成功。
摩尔定律
由英特尔创始人戈登·摩尔提出,这意味着在价格不变的情况下,集成电路上可容纳的组件数量和性能将每18-24个月增加或翻倍。
超过摩尔
这意味着非数字化、多样化的半导体技术和产品(如市场巨大的传感器)可以在成熟的生产线上开发,而不遵循摩尔定律,工艺规模越来越小。
目前,以智能传感终端、大数据、云计算和人工智能为代表的信息技术正在加速创新,物联网智能时代即将到来。其中,“超越摩尔”技术以传感器为核心,融合了射频、电力、微能源等技术,是未来实现物联网的基础。作为一个创新的功能平台,ITRI立足于国内集成电路研发和产业基地上海,8英寸研发试点线落户嘉定,填补了中国在这一领域的空空白。
研发先导线重点发展表面硅、体硅和三维微纳加工技术,根据“超越摩尔”(Beyond Moore)产品和技术特点,部署mems、硅光子学、射频、硅基iii-v族、三维集成、磁、磁、电、生物等相关工艺和测量设备,提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。
“这条传输线的成功标志着中国mems和先进传感器的研发和产业化进入了快速发展的新阶段。今后,R&D试验线将继续发挥自身优势,开展新材料、新工艺、新设备、新系统等关键技术领域的研发,进一步推动“超越摩尔”产业链的完善和物联网创新应用的发展。”上海微技术研究所所长杨潇说。
ITRI将以全球领先的8英寸“超越摩尔”R&D试点线为支点,继续打造集R&D、工程、营销、孵化为一体的综合功能平台,为创新企业和合作伙伴提供全方位服务和解决方案,打造具有全球影响力的科技创新中心和“超越摩尔”产业集群。