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近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所的谢晓明研究员团队与保山市工业园区石墨烯功能平台合作，在制备高质量石墨烯电子材料方面取得多项突破，获得上海市自然科学奖一等奖。
自从集成电路工业发展以来，芯片的主要材料一直是硅片。受摩尔定律的限制，硅片技术升级越来越困难，面临瓶颈。用新的碳材料取代硅基材料在工业上是一个很有前途的解决方案。石墨烯只有一个碳原子层厚，强度高，比表面积大，具有优异的导热和导电性能，与硅基材料相比具有很大的优势。然而，石墨烯在替代传统半导体材料方面也面临许多挑战。谢晓明的团队花了10年时间掌握了石墨烯单晶片的可控制备技术，实现了4-8英寸单晶的小批量生产，并创造了生长速度和单晶尺寸的世界纪录。
为了尽快实现这类材料的产业化，将这些世界级的科研成果转化为现实生产力，上海石墨烯产业技术功能平台于2019年9月与中国科学院上海微系统研究所签订合同，通过建设创新实验室，实现8英寸石墨烯单晶片、4英寸锗基石墨烯片和大面积六方氮化硼介电薄膜的中试生产。
上海与宝山区共同打造的上海石墨烯产业技术功能平台，是上海建设具有国际影响力的科技中心的四大支柱之一。该平台聚焦石墨烯产业，聚焦石墨烯应用，通过政府引导和社会多元化投资，推动实验室成熟成果向产业技术转化，解决产业面临的共性技术难题。上海宝山城市工业园区作为平台的大股东，正在建设上海超能新材料科技园区，这也将成为平台石墨烯成果产业化的重要承载区。
目前，创新实验室正在加紧平台建设，计划于今年9月完成，并将试生产8英寸石墨烯单晶晶片等多种产品。该平台还将利用自身资源了解石墨烯晶圆行业的下游需求，尽快实现产品的大规模应用。
